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光刻机(Mask Aligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。那么网友们知道光刻机有什么分类吗?下面一起来了解一下吧。光刻机1、光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动。2、手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了。3、半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐
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