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清洗后的硅片如何保存 清洗后的硅片怎么保存
1、单晶片和外延片的保存；可将抛光后的单晶片或外延片装入一样大小的小塑料袋内，每袋装一片，或背靠背可装二片，然后，将小塑料袋叠好，装入尺寸定做的硬纸盒内，盒内上部多余空间再放点小包硅胶防潮，盖上盒盖后，在盒盖表面再写上批次、型号、入库时间、数量等。 2、当要使用单晶片和外延片时，只要从仓库按需取出，然后将硅片从塑料袋内小心取出，放入化学瓷坩埚内进行化学清洗，清洗完了最后用去离子水冲净烘干即可使用。
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